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技術參數
流量范圍（可用的中間范圍）：min.0…500毫升/分鐘
Max.0…20 ln/min（基于N2）
壓力范圍：FF-M10：不可用/FF-M11：0…17 bar（a）
精度（包括線性度）（基于實際校準）：高達±0,5%Rd plus±0,1%FS（N2/空氣/O2）；
對于其他氣體，增加轉換不確定性；
重復性：
流量傳感器：<±0,2%Rd；
壓力傳感器：<±0,2%FS
減速比：高達1:1000
工作壓力：max.16 bar g
22種氣體以及這些氣體的任何混合物的多氣體/多量程嵌入式氣體數據
響應時間（傳感器）：<30 ms（T63）
3年內長期穩定性：<0,5%FS；則每年<0,2%FS
安裝任何：位置，姿態靈敏度可忽略不計
溫度靈敏度流量傳感器：零00015%FS/oC；量程0,03%Rd/oC；
壓力傳感器：零0,16 mbar/oC；量程0,05%Rd/oC
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